真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)--VTC-100PA（加熱型）

簡(jiǎn)要描述：VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤(pán)、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)可用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備。

產(chǎn)品型號(hào)：VTC-100PA（加熱型）
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間：2025-02-11
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產(chǎn)品分類(lèi)

薄膜制備全套設(shè)備

3靶等離子濺射儀火焰輔助噴霧熱分解涂覆設(shè)備超聲波霧化模塊多功能試樣表面處理機(jī) 小型蒸鍍儀高真空蒸發(fā)鍍膜儀小型磁控射頻濺射鍍膜儀射頻等離子磁控濺射鍍膜儀直流等離子磁控濺射鍍膜儀雙靶磁控濺射儀提拉涂膜設(shè)備旋轉(zhuǎn)涂層設(shè)備（勻膠機(jī)）流延涂覆機(jī) 蒸發(fā)鍍膜設(shè)備磁控濺射鍍膜設(shè)備等離子鍍膜設(shè)備熱噴涂鍍膜設(shè)備/靜電紡絲鍍膜設(shè)備濺射源及真空腔體查看全部產(chǎn)品

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詳細(xì)介紹

VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤(pán)、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)可用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備。

技術(shù)參數(shù)

主要特點(diǎn)	真空吸附方式固定樣件，操作簡(jiǎn)便。使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置，以減少偏心而造成的震動(dòng)或飛片。根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤(pán)，且更換方便簡(jiǎn)單。設(shè)有12組程序，每組包含6個(gè)運(yùn)行階段。電機(jī)啟動(dòng)快速穩(wěn)定，可以保證涂層厚度的*性和均勻性。 50W/24V 直流電機(jī) 適于在Ar氣環(huán)境中工作（真空泵放置在手套箱外）
參數(shù)	電機(jī)功率：50W/24V 速度范圍：500-10000rpm 程序運(yùn)行：可儲(chǔ)存12組程序，每組程序包含6個(gè)運(yùn)行階段增減速率設(shè)置范圍：100rpm/s-2000rpm/s 時(shí)間范圍：0-60s 吸盤(pán)：Φ19mm、Φ60mm
進(jìn)氣口	上蓋有一個(gè)直徑6mm的進(jìn)氣口可將需要的氣體通入腔體，實(shí)現(xiàn)在氣氛環(huán)境下旋轉(zhuǎn)涂覆
可選加熱部分	上蓋內(nèi)部增加紅外燈管加熱，采用K型熱偶測(cè)溫，數(shù)字溫控器控溫，zui高120℃，可使得樣品涂覆后原位烘干，用于薄膜太陽(yáng)能電池等研究。
產(chǎn)品規(guī)格	尺寸：450mm×280mm×340mm；重量：20kg
標(biāo)準(zhǔn)配件	1	真空吸盤(pán)（含O型圈）	2個(gè)
	2	中心定位器（含4個(gè)定位柱）	1個(gè)
	3	滴膠注射器（20ml）	1個(gè)
	4	注射器支架	1個(gè)
	5	無(wú)油真空泵	1臺(tái)
	6	橡膠管（含卡箍）	1根
可選配件	過(guò)濾器（真空泵用）