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當(dāng)前位置:首頁(yè)   >  產(chǎn)品中心  >  CVD、PECVD設(shè)備  >  CVD管式爐  >  OTF-1200X-5L-R-CVD5英寸旋轉(zhuǎn)CVD管式爐

5英寸旋轉(zhuǎn)CVD管式爐

簡(jiǎn)要描述:OTF-1200X-5L-R-CVD是一款旋轉(zhuǎn)CVD爐。爐體有3個(gè)加熱區(qū),可提高溫度均勻性,同時(shí)配有4通道的精密混氣系統(tǒng)。此款管式爐設(shè)計(jì)主要用于電池粉體材料表面包覆或其他粉體材料表面修飾。設(shè)備相關(guān)論文(點(diǎn)擊查看)

  • 產(chǎn)品型號(hào):OTF-1200X-5L-R-CVD
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2024-09-06
  • 訪  問(wèn)  量:4761

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詳細(xì)介紹

 OTF-1200X-5L-R-CVD是一款旋轉(zhuǎn)CVD爐。爐體有3個(gè)加熱區(qū),可提高溫度均勻性,同時(shí)配有4通道的精密混氣系統(tǒng)。此款管式爐設(shè)計(jì)主要用于電池粉體材料表面包覆或其他粉體材料表面修飾。設(shè)備相關(guān)論文(點(diǎn)擊查看)

 

技術(shù)參數(shù)

爐體結(jié)構(gòu)

  • 采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)
  • 采用高純氧化鋁作為爐膛材料,可以zui大程度減小能量損失
  • 直流電機(jī)帶動(dòng)石英管轉(zhuǎn)動(dòng),其轉(zhuǎn)速為0 - 10 RPM
  • 爐體可傾斜角度為30°
  • 爐體設(shè)計(jì)為開(kāi)啟式,以便于操作和對(duì)樣品進(jìn)行快速冷卻

加熱區(qū)

  • 三個(gè)溫區(qū)總長(zhǎng)度:600mm
  • 溫區(qū) 1: 150 mm  ( 6")
  • 溫區(qū) 2: 300mm  ( 12")
  • 溫區(qū)3: 150 mm ( 6")
  • 恒溫區(qū)為:450mm@+/-2℃(三個(gè)溫區(qū)設(shè)置同樣的溫度)

 

  • 儀器中包含一根石英管
  • 尺寸:130 mm O.D. x 120 mm I.D. x 1200 mm L + 60 O.D mm (兩端直徑 )
  •    
  • 儀器中包含一套不銹鋼真空法蘭(上面已經(jīng)安裝了不銹鋼針閥)

接頭

  • 進(jìn)氣端接口:Φ6.35的卡套接口
  • 出氣端接頭:Φ12的寶塔嘴接頭

工作溫度

  • 連續(xù)使用溫度:1100℃
  • zui高工作溫度:1200℃< 1 h

溫控系統(tǒng)

  • 三個(gè)溫區(qū)采用三個(gè)溫控系統(tǒng)獨(dú)立控制,都是采用PID方式調(diào)節(jié),可以設(shè)置30段升降溫程序
  • 爐體上安裝有RS485接口,可選購(gòu)控溫模塊,采用電腦控制爐體升溫

熱電偶

  • 三根 Omega K 型鎧裝熱電偶

真空泵和冷井

  • 配有一雙極旋片真空泵,上面安裝有油霧過(guò)濾器
  • 可以選購(gòu)冷井,防止實(shí)驗(yàn)中的沉積物損害真空泵
  •  

供氣系統(tǒng)

  • 4通道精密氣體控制系統(tǒng),采用質(zhì)量流量計(jì),觸摸屏控制,可同時(shí)通入1-4種不同氣體
  • 注意:如果通入的是易燃易爆型氣體,必須將設(shè)備安裝在通風(fēng)柜中

zui大功率

4KW

電壓

208 - 240V單相(需要30 A 的空氣開(kāi)關(guān))

質(zhì)保

一年質(zhì)保期,終生維護(hù)(不含爐管,密封圈和加熱元件)

質(zhì)量認(rèn)證

  • CE認(rèn)證
  • 所有電器元件(>24V)都通過(guò)UL / MET / CSA認(rèn)證
  • 若客戶出認(rèn)證費(fèi)用,本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過(guò)德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證
  •      

凈重

130kg

應(yīng)用注意事項(xiàng)

  • 此套設(shè)備可以配合本公司連續(xù)送料裝置來(lái)達(dá)到連續(xù)進(jìn)料的效果
  •  

警告

  • 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
  • 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購(gòu)減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全
  • 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)
  • 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊
  • 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度<1100℃
  • 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開(kāi)泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)
 

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