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小型大口徑開啟式管式爐--OTF-1200X-5S

簡要描述:OTF-1200X-5S是一款CE認證的小型開啟式管式爐,其Z高工作溫度可以達到1000℃。爐管Φ130mm的高純石英管。設(shè)備配有一對不銹鋼密封法蘭,可在真空或氣氛保護環(huán)境下對樣品進行熱處理。對于控溫系統(tǒng),可設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度為+/- 1℃。此款管式爐Z多可對4英寸的晶片進行退火。

  • 產(chǎn)品型號:OTF-1200X-5S
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2025-02-11
  • 訪  問  量:4598

詳細介紹

OTF-1200X-5S是一款CE認證的小型開啟式管式爐,其zui高工作溫度可以達到1000℃。爐管Φ130mm的高純石英管。設(shè)備配有一對不銹鋼密封法蘭,可在真空或氣氛保護環(huán)境下對樣品進行熱處理。對于控溫系統(tǒng),可設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度為+/- 1。此款管式爐zui多可對4英寸的晶片進行退火。

 

技術(shù)參數(shù)

爐體結(jié)構(gòu)

  • 雙層殼體結(jié)構(gòu)
  • 采用高純氧化鋁纖維作為爐膛材料,并且表面涂有高溫氧化鋁涂層,可提高加熱效率,保證溫度均勻性
  • 此款管式爐也可做為立式爐使用(點擊圖片查看詳細資料)
  •   

功率

3KW

電壓

220VAC 50/60Hz

zui高工作溫度

1000℃(<1小時)

連續(xù)工作溫度

900℃

zui大加熱速率

20℃/min

加熱區(qū)

  • 加熱區(qū)長度:300mm
  • 恒溫區(qū)長度:
  • 100 mm (+/-1ºC )
  • 140 mm (+/-2ºC ) 

溫控系統(tǒng)

  • 采用PID方式調(diào)節(jié)溫度,可設(shè)置30段升降溫程序
  • 帶有超溫和斷偶保護
  • 可選購MTS02-B控溫模塊,可用電腦設(shè)置和顯示溫度程序
  •                

歐陸儀表(可選)

  • 可選購歐陸3504溫控儀表,可與LABVIEW軟件比配

控溫精度

+/- 1°C

爐管

  • 石英管,尺寸:130mm O.D x 120mm I.D x 640mmL
  • 配有2個氧化鋁管堵,使用設(shè)備時應(yīng)放在爐管兩端,保證恒溫區(qū)和法蘭密封性
  • 可選購石英管堵,提高爐管內(nèi)的潔凈度和幫助獲得高真空
  •       

真空密封法蘭

  • 配有一對不銹鋼密封法蘭,采用硅膠密封圈密封
  • 右端法蘭為KF25接口,用于連接真空泵
  • 左端法蘭上安裝有機械壓力表,接口為1/4英寸卡套接頭,用于連接氣瓶
  • 真空度:10-2torr (采用機械泵)
  • 可選:5英寸的水冷鉸鏈法蘭,并帶有支撐架
  • 水冷法蘭通入冷卻水后,設(shè)備zui高溫度可以達到1100℃(<1小時)    

真空壓力表

  • 安裝有一機械壓力表,測量范圍為-0.1~0.15MPa
  • 可選購數(shù)顯防腐真空計當(dāng)氣壓在10mbar以上時,不需因測量氣體種類不同而進行系數(shù)轉(zhuǎn)換,測量范圍為3.8x10-5 -1125 Torr
  •    

鎧裝熱電偶(可選)

  • 可選購鎧裝K型熱電偶,通過法蘭的鎧裝孔伸入到爐管內(nèi)部,測量樣品的實際溫度
  • 可選購一個法蘭支撐架,防止?fàn)t管轉(zhuǎn)動
  •          

尺寸

  • 爐蓋打開關(guān)閉時: 430mm(L) × 480mm(W) × 480mm(H) 
  • 爐蓋打開時 : 660mm(L) × 480mm(W) × 720mm(H)

凈重

48 Kg

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期,終生維護(不包含爐管,密封圈和加熱元件)

質(zhì)量認證

  • CE認證
  • 所有電器元件(>24V)都通過UL / MET / CSA認證
  • 若客戶出認證費用,本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認證或CAS認證
  •      

應(yīng)用注意事項

  •  
  • 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
  • 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全
  • 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)
  • 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
  • 石英管的長時間使用溫度<1100℃
  • 對于樣品加熱的實驗,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)

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