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SOI薄膜(Si+SiO2+Si)

簡(jiǎn)要描述:SOI薄膜(Si+SiO2+Si)

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2025-02-11
  • 訪  問(wèn)  量:2080

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品名稱:

SOI基片(Si+SiO2+Si)

常規(guī)尺寸

dia4" 鍍膜層:20um Si P/B + 2umSiO2+500um Si undoped


技術(shù)參數(shù):

國(guó)產(chǎn)SOI:膜層厚度可以按照客戶需求加工

①頂層2um±0.5(5點(diǎn)), BOX層2um±0.1 ,  P型,總厚度大約621um, 平整度LTV < 1um

②頂層3um±0.5(5點(diǎn)), BOX層2um±0.1,P型,總厚度大約622um, 平整度LTV < 1um

電阻率Ω.cm:15-25 ohm.cm

進(jìn)口SOI:

點(diǎn)擊查看:http://mtixtl.com/soiwafersilicononinsulator.aspx


常規(guī)尺寸:

SOI

φ6″100>/<110>鍍2umSiO2層鍍2umSi層-1sp

SOI

φ4″<100>/<110>鍍0.375umSiO2層鍍0.2umSi層-1sp

SOI

φ4″<100>/<110>鍍0.375umSiO2層鍍1umSi層-1sp

SOI

φ6″<100>/<110>鍍0.375umSiO2層鍍1umSi層-1sp

SOI

φ6″-<100>鍍0.375umSiO2層鍍0.1umSi層-1sp

SOI

φ6″-<100>鍍3umSiO2層鍍220nmSi層-1sp


備注:

1000級(jí)超凈室100級(jí)超凈袋單片盒或25片插盒封裝

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