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真空鍍膜機設(shè)備如何維護

更新時間:2016-07-06      點擊次數(shù):2005

  真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜,具體包括很多種類,包括真空離子蒸發(fā),磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。真空鍍膜機設(shè)備中的擴散泵連續(xù)使用6個月以上,抽速就會明顯變慢,或操作失當,充入大氣,拆去聯(lián)結(jié)水管,卸下電爐盤,將一級噴嘴擰出,先用汽油將泵腔及泵膽清洗一遍,再用洗衣粉兌水清洗一遍,然后用清水*清洗干凈,待水份揮發(fā)干以后,裝好泵膽,加入新擴散泵油,并裝回機體,接好水管,裝好電爐盤,便可以重新開機。在重新開機前,要注意檢漏工作。啟動維持泵,關(guān)好大門,數(shù)分鐘后,觀察擴散泵部分真空度是否達到6X10帕,否則要進行檢漏。檢查聯(lián)接處是否裝密封膠圈,或壓壞密封圈。排除漏氣隱患后方可加熱,否則擴散泵油會燒環(huán),無法進入工作狀態(tài)。
  真空鍍膜機設(shè)備每完成200個鍍膜程序以上,應(yīng)清潔工作室一次。用燒堿(NaOH)飽和溶液反復擦洗真空室內(nèi)壁,( 注意人體皮膚不可以直接接觸燒堿溶液,以免灼傷)目的是使鍍上去的膜料鋁(AL)與NaOH發(fā)生反應(yīng),反應(yīng)后膜層脫落,并釋放出氫氣,再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽閥內(nèi)的污垢。
  當真空鍍膜機(真空鍍膜設(shè)備)粗抽泵(滑閥泵,旋片泵)連續(xù)工作一個月(雨季減半),需更換新油。將泵內(nèi)的舊油*排放出來。擰回放油螺栓,加入新油至額定量(油視鏡觀察)。連續(xù)使用半年以上,換油時應(yīng)將油蓋打開,用布擦干凈箱內(nèi)污垢。

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