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看這里,就可以了解多功能試樣表面處理機(jī)的具體指標(biāo)

更新時(shí)間:2021-04-06      點(diǎn)擊次數(shù):1408
  多功能試樣表面處理機(jī)是用于掃描電子顯微鏡和電子探針的樣品制備的設(shè)備。它可以在高純氬氣的保護(hù)下進(jìn)行各種離子處理,也可以對(duì)碳和金屬進(jìn)行真空蒸煮。通過(guò)該設(shè)備處理的樣品可用于外觀觀察和樣品成分分析,尤其是成分的定量分析更適合。采用分子泵系統(tǒng),特別適合真空度要求高,真空環(huán)境良好的用戶。
  多功能試樣表面處理機(jī)在高純氬氣的保護(hù)下,它可以進(jìn)行各種離子處理。也可以對(duì)碳和金屬進(jìn)行真空蒸煮。用該設(shè)備處理的樣品可用于樣品的形態(tài)觀察和成分分析。尤其是成分的定量分析更適合。該設(shè)備采用由分子泵和機(jī)械泵組成的高真空單元系統(tǒng)。樣品以三種方式移動(dòng):平面旋轉(zhuǎn),傾斜旋轉(zhuǎn)和傾斜進(jìn)動(dòng)。 
  多功能試樣表面處理機(jī)的應(yīng)用領(lǐng)域:離子噴涂,離子濺射,離子清洗,碳的真空蒸鍍,金屬的真空蒸鍍等。它是一種適用于樣品制備的多功能機(jī)器,如掃描電子顯微鏡,電子探針和透射電子顯微鏡。它具有真空蒸發(fā)臺(tái),離子濺射和蝕刻裝置的多種復(fù)合功能,以及可進(jìn)行多次移動(dòng)的樣品臺(tái)。它可以在平面上旋轉(zhuǎn),沿傾斜方向旋轉(zhuǎn)和傾斜進(jìn)動(dòng)。它可以對(duì)樣品執(zhí)行各種處理,例如:離子噴涂(在氣體電離條件下為真空蒸發(fā)),離子濺射,離子蝕刻,離子清洗和離子稀化,還可以進(jìn)行真空蒸發(fā)和碳蒸汽處理。因此,它適用于金屬和合金樣品的制備。
  1、鐘罩尺寸:內(nèi)徑Φ250mm×高340mmØ玻璃處理室:內(nèi)徑Φ88mm×高140mmØ內(nèi)徑:Φ88mm×高57mm。
  2、樣品臺(tái)尺寸:Φ40mm。
  3、金靶尺寸:Φ38mm。
  4、真空度:優(yōu)于2×10-3Pa。
  5、樣品移動(dòng)方式:平面旋轉(zhuǎn),傾斜旋轉(zhuǎn),傾斜進(jìn)動(dòng)Ø真空系統(tǒng):由分子泵和機(jī)械組成的高真空泵單元。
  6、真空檢測(cè):熱電偶表,冷表。
 

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